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镀镍抛光清洗设备
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详细信息


 

镀镍抛光清洗设备

1.本设备是镀镍抛光清洗设备,适用于4-6英寸半导体硅片清洗工艺

2.整机由机台、操作台面、清洗槽体、封闭电炉子,排风、机台照明、电气控制系统等组成。整体颜色为瓷白色,德国PP板。

3.3个槽体,电磁炉台位2个,DIW清洗槽1

4.可清洗的硅片批量:25/篮,每批2

5.设备的左、右前方各配置PP材料的水枪、四氟N2GUN各一把。

6.电力供应:三相 220V/50Hz  500W

7. PLC控制器

8. 声光提示、报警功能

9. 设备照明:20W封闭日光灯

镀镍抛光清洗设备

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