半导体硅片扩散化处清洗台
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详细信息

扩散化处清洗台

1．本设备是扩散化清洗台，适用于8英寸半导体硅片清洗工艺。本设备由专家亲自指导设计、加工、组装和调试。采用国际标准生产加工，在超净厂房组装测试，有可靠的质量保障

2．整机由机架，电器，槽体，加热，管路，控制，照明等系统组成。

3．共8个槽 ，3个加热石英药液槽，，2个喷淋+QDR槽，1个阶梯槽（石英），2个下水槽（PP）；

4．进口德国PP板材，耐腐蚀且美观。

5．PLC控制，触摸屏操作，声光提示，错误报警。

6．四氟N2GUN，水枪各1把。

7．有活动脚轮，便于移动。

8．照明系统为20W封闭日光灯。